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半导体] 半绝缘多晶硅/SIPOS/半绝缘多晶硅

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掺氧半绝缘多晶硅càn yǎng bàn jué yuán duō jīng guī
※繁体字:摻氧半絕緣多晶硅(多晶矽)

💡 琐事:。
半導体の工法の一つであり耐圧特性を向上させる。ポリシリコンに酸素を添加してできる半絶縁性の薄い膜であってLPCVD法により形成される。