【半導体】半絶縁ポリシリコン／SIPOS／Semi-Insulated Polycrystalline Silicon

【半導体】半絶縁ポリシリコン／SIPOS／Semi-Insulated Polycrystalline Silicon

中国語：
掺氧半绝缘多晶硅 càn yǎng bàn jué yuán duō jīng guī
※繁体字：摻氧半絕緣多晶硅(多晶矽)

💡豆知識：
半導体の工法の一つであり耐圧特性を向上させる。ポリシリコンに酸素を添加してできる半絶縁性の薄い膜であってLPCVD法により形成される。