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【半導体】半絶縁ポリシリコン/SIPOS/Semi-Insulated Polycrystalline Silicon

中国語:
掺氧半绝缘多晶硅càn yǎng bàn jué yuán duō jīng guī
※繁体字:摻氧半絕緣多晶硅(多晶矽)

💡豆知識:
半導体の工法の一つであり耐圧特性を向上させる。ポリシリコンに酸素を添加してできる半絶縁性の薄い膜であってLPCVD法により形成される。